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Aktivitäten der GMe
Neben einer Reihe von kleineren einschlägigen Projekten hat die GMe seit ihrer Gründung im Jahr 1985 vier - hier in chronologischer Reihenfolge aufgezählte - Schwerpunktsbereiche unterstützt:
Diese vier Schwerpunktsbereiche sollen - gereiht nach ihrer Bedeutung zum Zeitpunkt des Auslaufens der für Infrastruktur-Unterstützung erforderlichen Geldmittel im Jahre 2010 - in der Folge kurz vorgestellt werden. Ein weiterer Abschnitt ist der Bedeutung der GMe für die österreichische Industrie gewidmet.
Mikroelektronik-Technologie - ZMNS Wien und Reinraum Linz
Die zentrale Aufgabenstellung der GMe stand bis 2010 im Zusammenhang mit der Errichtung und dem Betrieb der technologischen Einrichtungen, vor allem der Reinräume an der TU Wien und der Johannes Kepler-Universität in Linz: Die GMe war Anfang der Neunziger Jahre vom Bundesministerium für Wissenschaft und Forschung mit der Abwicklung der Errichtung des "Mikrostrukturzentrums (MISZ) Wien" (seit 2004 "Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen - ZMNS") beauftragt worden; die Verhandlungen der GMe mit den ausführenden Firmen und den Lieferanten der Geräte resultierten in einem zügigen Fortgang der Bauarbeiten, in Verbesserungen und Einsparungen. Seither kam der GMe eine wichtige Rolle in der Sicherstellung des Betriebs der Reinraumeinrichtungen in Wien und Linz zu, zumal sowohl die laufenden Kosten als auch die erforderlichen Investitionen weder zur Gänze aus dem regulären Budget der beteiligten Universitätsinstitute noch aus Projektmitteln gedeckt werden konnten. Die GMe hatte sich daher die Aufgabe gestellt, die für den Grundbetrieb der Laboreinrichtungen zusätzlich erforderlichen Mittel nach Maßgabe ihrer eigenen budgetären Möglichkeiten zuzuschießen.
Die folgenden Universitätsinstitute waren an diesen Aktivitäten der GMe beteiligt:
Mikrosensorik
Wohl liegt eine der lohnendsten Aufgabenstellungen für die Mikro- und Nanotechnologie im Bereich der Sensorik. Die Vielfalt potentieller Sensoren und die Möglichkeit, mit vergleichsweise bescheidenen technologischen Mitteln international anerkannte und auch vermarktbare Ergebnisse zu erhalten, machen die Sensorik zu einem besonders attraktiven Gebiet. Während dieses Gebiet in den Neunziger Jahren noch relativ breit von der GMe gefördert wurde, wodurch auch eine Vielzahl von Sensoren für medizinische und technische Anwendungen konzipiert werden konnte, von denen ein erheblicher Teil industriell vermarktet wurde, erlauben seit 1998 die Mittel der GMe nur mehr eine relativ bescheidene Förderung der für die Herstellung von Mikro- und Nanosensoren erforderlichen speziellen Hochtechnologie-Infrastruktur. Eine schwerpunktmäßige Förderung der Sensorik als solche ist aus budgetären Gründen seit 1998 nicht mehr möglich.
Das folgende Institut war in den Neunziger Jahren am Sensorik-Schwerpunkt der GMe beteiligt:
Anwendungsspezifische integrierte Schaltungen (ASICs) - UNICHIP/TMÖ
Die ASIC-Aktivitäten der GMe in den Achtziger und Neunziger Jahren waren eng mit den Bedürfnissen der österreichischen Industrie verknüpft: Ausgehend von Aktivitäten an der TU Graz und der TU Wien wurden unter Verwendung von Geräten und Software, die aus GMe-Förderungsmitteln angeschafft worden waren, einerseits Projekte für Partner aus der österreichischen Industrie durchgeführt, die von Machbarkeitsstudien bis zum serienreifen Entwurf anwendungsspezifischer Schaltkreise reichten; andererseits wurden Ingenieure speziell auf dem Gebiet des Schaltkreis-Entwurfes herangebildet. Den Aktivitäten an der TU Graz und der TU Wien kam insbesondere wegen ihrer Anwendungsnähe eine österreichweite Vorreiterrolle zu; eine internationale Einbindung in europäische Vorhaben ("EUROCHIP" bzw. dessen Nachfolgeprojekt "EUROPRACTICE") erfolgte schon lange vor dem Beitritt Österreichs zur EU.
Ein Nachfolgeprogramm für UNICHIP mit der Bezeichnung "Technologieverbund Mikroelektronik Österreich - TMÖ" wurde in der zweiten Jahreshälfte 1996 ins Leben gerufen. Die GMe war federführend für die Organisation von TMÖ; die Finanzierung dieses Programms stammte einerseits von österreichischen Bundes- und Landesstellen, andererseits von beteiligten Industrieunternehmen. TMÖ erweiterte die Aktivitäten von UNICHIP auf alle österreichischen Universitätsinstitute, die auf dem Gebiet des ASIC-Designs arbeiteten.
Aus budgetären Gründen musste die Förderung dieser Aktivitäten durch die GMe im Jahr 1998 eingestellt werden.
Zum Zeitpunkt der Einstellung der Förderung durch die GMe waren die folgenden Institute an TMÖ beteiligt:
Ionenprojektionslithographie - IPL
Dieses Schwerpunktsprojekt der GMe wurde zwischen 1985 und etwa 1995 in enger Zusammenarbeit mit der Wiener Firma IMS Nanofabrication AG verfolgt, die das Verfahren der Ionenprojektionslithographie inzwischen zur Anwendungsreife entwickelt hat. Hier erwarb die GMe die erste industrienahe konzipierte IPL-Anlage von ihrem industriellen Partner; Forscher der TU Wien leisteten, gefördert durch Mittel der GMe und des Forschungsförderungsfonds für die gewerbliche Wirtschaft, gemeinsam mit den Mitarbeitern von IMS wertvolle wissenschaftlich-technische Beiträge zur Etablierung dieser Technologie, die eine Verringerung der Strukturgrößen von mikroelektronischen und mikromechanischen Systemen bis weit unter 100 nm (1/10 Mikrometer) erlaubt. Die gemeinsamen Anstrengungen von IMS und GMe resultierten in Ergebnissen, die zu einem weltweiten Interesse an diesem Verfahren führten. Das IPL-Projekt der GMe konnte somit erfolgreich beendet werden.
Die Bedeutung der GMe für die österreichische Industrie
Obwohl, wie erwähnt, die Förderungsmittel der GMe ausschließlich universitären Institutionen zuflossen, kamen ihre Aktivitäten in hohem Maß auch der österreichischen Wirtschaft zugute. Die Mechanismen dafür waren zwar je nach den Arbeitsschwerpunkten der beteiligten Institute unterschiedlich gewichtet, bestanden aber grundsätzlich in allen Fällen:
- Ausbildung qualifizierter Universitätsabsolventen:
Die GMe leistete aufgrund ihres oben beschriebenen Tätigkeitsprofils wesentliche Beiträge in der universitären Ausbildung auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologie. Dieser Bereich wurde durch die offiziellen Curricula österreichischer Universitäten nicht oder nur unzureichend abgedeckt; die GMe hat in vielen Fällen überhaupt erst die apparativen Voraussetzungen dafür geschaffen, dass die genannten Aktivitäten an österreichischen Universitäten betrieben und Studierenden die Möglichkeit zu einer einschlägigen Ausbildung geboten werden konnte. Der Investitionsschub in Hochtechnologie-Betriebe in den vergangenen Jahren bestätigt die Richtigkeit dieser Strategie der GMe: Der Bedarf an Technologen ist nach wie vor gegeben; bei den Betrieben, die nach Universitätsabsolventen mit einer derartigen Ausbildung suchen, handelt es sich durchwegs um hochinnovative, exportorientierte Firmen mit einem hohen Wertschöpfungsanteil.
- Beratung und Machbarkeitsstudien:
Die erheblichen, zum Teil extrem hohen Kosten für die Implementierung moderner Technologien stellen insbesondere für kleine oder mittlere Betriebe eine wesentliche Hemmschwelle dar, insbesondere, wenn noch keine verlässlichen Aussagen über Vorteile und tatsächliche Kosten dieser Technologien bestehen. Zunächst im Bereich der UNICHIP- bzw. TMÖ-Gruppen, inzwischen in zunehmendem Umfang im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie, wurden und werden von den beteiligten Universitätsinstituten Machbarkeitsstudien für industrielle Partner durchgeführt und/oder Prototypen von Bauelementen gefertigt. In zahlreichen Fällen war so für österreichische Klein- und Mittelbetriebe ein kostengünstiger Einstieg in zeitgemäße und kompetitive Technologien möglich.
- Weitergabe von fachlicher Information; außeruniversitäre Ausbildung:
In zunehmendem Maß hat die GMe begonnen, verstärkt Aktivitäten auf dem Gebiet der außeruniversitären Aus- und Weiterbildung zu setzen. Zunächst wurden Kurse und Seminare für außeruniversitäre Interessenten in nennenswertem Umfang von den UNICHIP-Gruppen angeboten. Seit 2001 richten sich die Veranstaltungen "GMe-Forum" bzw. "GMe-Workshop", die die zuvor in regelmäßigen Abständen abgehaltenen (Universitäts-) Seminare "Grundlagen und Technologie elektronischer Bauelemente" und "Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik" abgelöst haben, speziell an Interessenten aus Wirtschaft und Industrie. In den Jahren nach 2010 verschob sich der Schwerpunkt der Aktivitäten der GMe - bedingt durch die Verfügbarkeit finanzieller Ressourcen - in zunehmendem Maß auf die Organisation von Aus- und Weiterbildungsveranstaltungen und von Veranstaltungen für ein industrielles und akademisches Publikum.
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